Mikromekaniska komponenter

Mikroelektromekaniska system – MEMS – blir allt viktigare i olika slags apparater.

I själva verket är det de senaste årens utveckling av MEMS och av de ingående mikromekaniska komponenterna som ligger bakom många av de nya tekniska funktioner som vi vant oss vid i vardagen. I dataspelskontroller till exempel, där de känner av läge och acceleration. Likadant i moderna mobiler – t ex för att byta visningsläge när mobilen vrids – och i bilar, t ex för att utlösa airbag.

För att få en enhetlig jämförelse mellan olika fabrikat och metoder, finns det en internationell standard, IEC 62047, för provning av de olika material som ingår i dessa komponenter, där olika delar av standarden behandlar olika provningar. IEC 62047 fastställs också som svensk standard SS-EN 62047 av SEK Svensk Elstandard. I standarden ingår också några delar som behandlar provning av kompletta mikromekaniska komponenter, t ex elektroniska kompasser (SS-EN 62047-19). Den delen fastställdes som svensk standard i december, liksom SS-EN 62047-11 för bestämning av längdutvidningskoefficienten och SS-EN 62047-18 för böjprovning av tunnfilmsmaterial. Delar på gång behandlar bl a draghållfasthet hos ledande film på flexibla substrat och bestämning av Poissons-tal för tunnfilmsmaterial.

Arbetet med IEC 62047 sker i den tekniska kommittén SC 47F, Micro-electromechanical systems, inom IEC, den internationella organisationen för standardisering på det elektrotekniska området. 

Svensk referensgrupp för IEC SC 47F och dess moderkommitté TC 47, Semiconductor devices, är SEK TK 47, Halvledarkomponenter. SEK TK 47 är för tillfället vilande men intresserade företag och institutioner är välkomna att ta kontakt med SEK, sek@elstandard.se alt 08-444 14 00.